sưởi ấm lò phản ứng mocvd với cảm ứng
Gia nhiệt cảm ứng Lò phản ứng lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD) là công nghệ nhằm cải thiện hiệu suất gia nhiệt và giảm sự kết hợp từ tính có hại với đầu vào khí. Lò phản ứng MOCVD gia nhiệt cảm ứng thông thường thường có cuộn dây cảm ứng nằm bên ngoài buồng, điều này có thể dẫn đến việc gia nhiệt kém hiệu quả hơn và có khả năng gây nhiễu từ trường đối với hệ thống phân phối khí. Gần đây … Tìm hiểu thêm